माइक्रो भागों के लिए CNC मशीनरी स्थूल रूप से कुछ मिलीमीटर से लेकर माइक्रोमीटर तक की आयाम वाले बहुत ही छोटे घटकों के उत्पादन पर केंद्रित होती है, जिसके लिए उपसूक्ष्म सटीकता प्राप्त करने के लिए विशेषज्ञ उपकरणों और तकनीकों की आवश्यकता होती है। माइक्रो मशीनरी में छोटे काटने वाले उपकरणों और अच्छी सटीकता वाले CNC मशीनों (अक्सर 1μm या बेहतर तक) का उपयोग करके छोटे भागों पर जटिल विशेषताओं को बनाया जाता है। माइक्रो मशीनरी में आम तौर पर उपयोग किए जाने वाले सामग्री में स्टेनलेस स्टील, टाइटेनियम, एल्यूमिनियम और इंजीनियरिंग प्लास्टिक शामिल हैं, जिन्हें चिकित्सा उपकरणों, इलेक्ट्रॉनिक्स और ऑप्टिकल यंत्रों के लिए घटकों में मशीनरी किया जाता है। उदाहरण के लिए, छोटे मोटरों के लिए CNC-मशीनरी की माइक्रो गियर या न्यूनतम आक्रमणात्मक कार्यक्रमों के लिए छोटे चिकित्सा उपकरणों को सटीक ज्यामिति और चालू सतहों की आवश्यकता होती है। माइक्रो मशीनरी में चुनौतियाँ उपकरण क्षति, ऊष्मा वितरण और ऐसे छोटे पैमाने पर स्थिरता बनाए रखने में होती हैं, जिन्हें उच्च-गति वाले छड़ों, न्यून काटने वाले बलों और उन्नत ठंडाई प्रणालियों के माध्यम से प्रबंधित किया जाता है। सतह फीनिश माइक्रो भागों के लिए महत्वपूर्ण है, क्योंकि यहांतक कि छोटी खराबियाँ भी कार्यक्षमता पर प्रभाव डाल सकती हैं, जिसके लिए सतहों को सुधारने के लिए प्रक्रियाएँ जैसे माइक्रो पोलिशिंग या इलेक्ट्रोपोलिशिंग का उपयोग किया जाता है। माइक्रो भागों के लिए CNC मशीनरी में विशेष जांच तकनीकों की आवश्यकता होती है, जैसे ऑप्टिकल माइक्रोस्कोपी और स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी (SEM), जिससे आयाम और सतह की गुणवत्ता की पुष्टि की जाती है, ताकि ये छोटे घटक अपने अनुप्रयोगों की कठोर आवश्यकताओं को पूरा कर सकें।
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